PVR 罗茨真空泵

HV罗茨真空泵

久经考验的高性能安捷伦HV系列罗茨真空泵特别适用于中高真空的工业应用。该系列产品的抽速从180 m3/h到97000 m3/h,工作压力从大约200 mbar到 1×10-3 mbar.可完全替代已停止供应的莱宝RA系列罗茨泵,包括型号RA 3001, RA 5001, RA 7001, RA 9001, RA 13000。

hv

型号 额定抽吸流量(m3/h) 最大允许压差(mbar) 功率(kW) 电机转速(rpm)
  50HZ 60HZ   50HZ 60HZ 50HZ 60HZ
GMa/GLa 10.0 hv 180 250 130 0,75 0,75 3000 3600
GMa/GLa 10.1 hv 250 300 140 1,10 1,10 3000 3600
GMa/GLa 10.2 hv 365 450 130 1,50 1,50 3000 3600
GMa/GLa 11.3 hv 500 600 140 2,20 2,20 3000 3600
GMa/GLa 11.4 hv 750 900 130 3,00 3,00 3000 3600
GMa/GLa 12.5 hv 1000 1200 130 4,00 4,00 3000 3600
GMa/GLa 12.6 hv 1430 1700 130 5,50 5,50 3000 3600
GMa/GLa 13.f7 hv 1700 2000 110 7,50 7,50 3000 3600
GMa/GLa 13.8 hv 2400 2900 100 11,00 11,00 3000 3600
GMa/GLb 14.9 hv 3900 4700 80 11,00 11,00 3000 3600
GMa/GLb 15.10 hv 5600 6700 80 15,00 15,00 3000 3600
GMa/GLb 15.11 hv 7500 9000 80 18,50 18,50 3000 3600
GMa/GLb 16.f13 hv 8150 9800 75 18,50 18,50 1500 1800
GMa/GLb 16.13 hv 9750 11700 75 22,00 22,00 1500 1800
GMa/GLb 17.15 hv 16000 18825 60 30,00 30,00 1500 1800

HV/BP 罗茨真空泵 (带旁通阀)

hv_bp

安捷伦HV/BP系列罗茨真空泵主要与润滑旋片泵联用,用以加快抽气时间并得到更高的真空度(0.01 mbar)。旁通阀允许罗茨泵与前级泵同时启动,在高压下可以避免罗茨泵发生过载。

型号 额定抽吸流量(m3/h) 极限真空度(mbar) 功率(kW) 电机转速(rpm) 噪音水平(dB(A)) 重量(kg)
  50HZ 60HZ   50HZ 60HZ 50HZ 60HZ 50HZ 60HZ 50HZ 60HZ
GMa 11.3 HV/BP 500 600 0,02 1,5 2,2 3000 3600 71 72 178 184
GMa 11.4 HV/BP 730 880 0,02 2,2 3,0 3000 3600 71 72 184 189
GMa 12.5 HV/BP 1000 1200 0,02 3,0 4,0 3000 3600 72 73 232 246
GMa 12.6 HV/BP 1400 1700 0,02 4,0 5,5 3000 3600 72 73 295 317
GMa 13.f7 HV/BP 2000 2420 0,02 5,5 7,5 3000 3600 75 76 387 410
GMa 13.8 HV/BP 2840 3420 0,02 7,5 11,0 3000 3600 75 76 513 526

CM 罗茨真空泵

cm hv-atex

HV和CM系列(带封闭罐式电机),符合94/9/EC 标准,具有Zone 0 (内部) 温度等级T3 (200 °C) 和Zone 1 (外部) 温度等级T4 (135 °C) 的ATEX认证。

CM系列罗茨真空泵,可用来传送空气和中性气体,尤其是应用于工业方面的高真空技术。这类罗茨真空泵有14个不同的型号,抽速在105m3/h和15330 m3/h之间,压力可达到1×10-5 mbar。

此系列罗茨泵可应用于各种不同的领域,如

– 半导体工业

– 微电子

– 平面屏幕产品

– 激光技术

– 太阳能技术

– 氮检漏器

– 化学工艺技术

– 箔及玻璃涂层

– 熔炉制造

– 氢气排除

– 等各种用途。

型号 额定抽吸流量(m3/h) 电机转速(rpm)
50HZ 60HZ 50HZ 60HZ
GM/GL170CM-N 170 205 2800 3380
GM/GL250CM-N 231 279 2800 3380
GM/GL340CM-N 348 420 2800 3380
GM/GL500CM-N 470 567 2800 3380
GM/GL700CM-N 695 839 2800 3380
GM/GL1000CM-N 962 1158 2800 3380
GM/GL1400CM-N 1360 1637 2800 3380
GM/GL2000CM-N 1976 2385 2800 3380
GM/GL2800CM-N 2970 3367 2800 3380
GM/GL4000CM-N 3825 4605 2800 3380
GM/GL5500CM-N 5500 6602 2800 3380
GM/GL7500CM-N 7400 8882 2800 3380
GM/GL8000CM-N 8000 9611 2800 3380
GM/GL9500CM-N 9530 11449 2800 3380