RPS 罗茨真空机组

安捷伦 (前Varian/瓦瑞安) RPS罗茨泵组是苛刻的工业应用的理想选择,抽速范围从180~10,000 m3/h! 全球超过15,000台罗茨泵组正在使用!RPS罗茨泵机组包括一台MS系列单级旋片泵和一台RP系列罗茨泵,配备集成机架和管路连接。由五款MS系列旋片泵(抽速从70到630 m3/h)和十余款罗茨泵(抽速从180到10000 m3/h)互相搭配组合,提供精确的解决方案以优化性能、成本和能耗。

产品特点:

  • 为系统集成而优化的设计
    • 用于系统粗抽的理想组合,并可作为扩散泵、分子泵以及其它高真空泵的前级泵;
    • 可选电子部件用于真空系统的连续运行与监控
  • 结构紧凑,易于使用
    • 安捷伦罗茨机组易于使用和安装
    • 风冷设计
  • 高性能的罗茨泵
    • 极高的压缩比
    • 安捷伦罗茨泵可以经受非常大的机械负载,减少抽空时间
    • 极限真空度达5×10-3mbar(4×10-3Torr)
  • 清洁:
    • 非常适合于对清洁度要求很高的应用;
    • 独特的迷宫式密封防止污染物进入齿轮箱;
    • 先进的轴密封技术,防止工艺腔室的污染;
    • 高性能捕集器用于捕获可凝性气体。
  • 牢固耐用、值得信赖
    • 低噪音、低震动,这得益于动平衡转子和精密加工的齿轮装置;
    • 维护周期长;
    • 风冷方式 (水冷为可选项)。
  • 可根据客户的具体实际应用量身定做各种罗茨泵/ 旋片泵的组合。rps1

技术参数:

  频率 RPS-501/301 RPS-751/301 RPS-1001/301 RPS-1401/301 RPS-2001/631 RPS-3001/631 RPS-4001/631
抽速 m3/h 60Hz50Hz 600500 900750 12001000 17001430 24002000 34502900 47003800
极限总压强 mbar ≤7×10-3 ≤5×10-3 ≤5×10-3 ≤5×10-3 ≤5×10-3 ≤5×10-3 ≤5×10-3
功率 kW 60Hz50Hz 2.6 + 7.52.2 + 5.5 3.6+7.53.0+5.5 4.8+7.54.0+5.5 6.3+7.55.5+5.5 8.8 + 18.57.5 + 15.0 12.5 + 18.511.0 + 15.0 12.5 + 18.511.0 + 15.0
供应电压 V 60Hz50Hz 230/460230/400 440-480 / 380400/690 440-480 / 380400/690 440-480 / 380400/690 440-480 / 380400/690 440-480 / 380400/690 440-480 / 380400/690
噪音等级 dB (A) 60Hz50Hz 7674 7674 7674 7674 8078 8078 8179
充油 liter 1.1 + 7.0 1.5+7.0 1.5+7.0 1.5+7.0 2.5 + 22.0 2.5 + 22.0 7.0 + 22.0
工作环境温度范围 12 to 40 12 to 40 12 to 40 12 to 40 12 to 40 12 to 40 12 to 40
储存温度 -15 to 50 -20 to 70 -20 to 70 -20 to 70 -20 to 70 -20 to 70 -20 to 70
×× mm 1088x750x1086 1130×750×1175 1153×750×1195 1289×750×1195 1605x1050x1516 1615x1050x1516 1636x1050x1576
总重量 Kg 60Hz50Hz 445430 470450 530510 590570 11151085 12551225 13801340

RPS罗茨泵机组

rps2 rps4_300

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