VacIon Plus 离子和 TPS 钛升华组合泵

 从上世纪五十年代，由瓦里安公司首先发明的溅射离子泵问世以来，越来越多的新设计和新技术投入使用，其中大部分源自瓦里安公司，即现在的安捷伦科技。从世界上第一台二极型离子泵，到三极型离子泵，再到Starcell 系列产品乃至世界闻名的VacIon Plus 产品家族等。

VacIon Plus离子泵

  • VacIon Plus 是安捷伦科技旗下的世界知名的离子泵产品家族，包括全系列离子泵、控制电源、可选配件及附件。可为各种应用提供相应解决方案。除标准产品外，安捷伦科技还为特定应用提供包括电源及相关附件在内的专属解决方案，以满足用户对起始工作压强、离子泵工作范围以及不同成份混合气体等指标的特殊要求。
  • VacIon Plus 离子泵产品家族拥有Diode 二极型、Noble Diode 钽阴极二极型以及Starcell 三极型泵在内的全系列产品，以最好的超高真空获得技术为众多应用领域服务。除MiniVac 和Dual 两款离子泵电源外，最新4UHV 离子泵控制器则为不同应用提供了更为丰富的选择。

钛升华复合型离子泵

  • 钛升华复合型离子泵将两种抽气原理合二为一：

钛升华过程针对活性气体提供了极高的抽速，而同时Starcell 离子泵则有效清除如氩气等惰性气体和甲烷等非活性气体。复合型泵通过额外的法兰将钛升华泵源以及低温筒集成在泵体当中。安捷伦科技还可针对客户的特殊需求提供定制产品。

4UHV控制器 – 专为超高真空设计

最新的安捷伦4UHV 离子泵控制器能同时控制四台离子泵，可对泵进行独立操作，并且支持各个型号（包括Diode，Noble Diode，StarCell）。LCD 显示可同时读取并显示四通道信息，包括离子泵电压，电流和压力。可变电压能够最佳读取抽速和压力。标配内置设定点，远程操作，以及RS232/485 电脑交互界面。

產品特點:

  • 优化设计的单元结构尺寸和形状
  • 特别设计的陶瓷绝缘材料
  • 三种不同的抽气单元可以满足抽除种混合气体和特殊应用的要求 (二级泵, Noble二级泵（钽）, 及拥有专利的StarCell 三级泵)
  • 各种抽速范围的离子泵
  • 安捷伦真空采用了最严格的高真空处理工艺来确保离子泵的卓越品质
  • 根据用户特殊要求设计定制
  • 可选配相应的烘烤加热装置，以更妥善地烘烤泵体

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技术参数1：

Miniature Pump 2 l/s Pump 10 l/s Pump Vaclon Plus 20 Vaclon Plus 40 Vaclon Plus 55
进气口法兰 2 ¾” OD CFF 2 ¾” OD CFF 4 ½” OD CFF
组件类型 Diode Diode Diode StarCell Noble Diode Diode StarCell Noble Diode Diode StarCell Noble Diode Diode
抽速(Saturated Pump at 1-6 mbar) 氮气 l/s 0.2 2 10 20 22 27 34 36 40 50 53 55
工作寿命(at 1-6 mbar) Hours N/A 8000 40000 80 50 50 80 50 50 80 50 50
最大启动压力 mbar 1 x 10-4 1 x 10-4 ≤1 x 10-4 <10-2 <10-3 <10-3 <10-2 <10-3 <10-3 <10-2 <10-3 <10-3
最大烘烤温度 °C 400 (without magnet)150 (with magnet) 400 (without magnet)150 (with magnet) 350 350 350 350 350 350 350 350 350 350
重量 Kg 0.3 0.3 4 7 17 18
半导体行业认证 – – + + + +

技术参数2：

Vaclon Plus 75 Vaclon Plus 150 Vaclon Plus 300 Vaclon Plus 500
进气口法兰 6” OD CFF 6” OD CFF 8” OD CFF 8” OD CFF
组件类型 StarCell Noble Diode Diode StarCell Noble Diode Diode StarCell Noble Diode Diode StarCell Noble Diode Diode
抽速(Saturated Pump at 1-6 mbar) 氮气 l/s 65 68 75 125 135 150 240 260 300 410 440 500
工作寿命(at 1-6 mbar) Hours 80 50 50 80 50 50 80 50 50 80 50 50
最大启动压力 mbar <10-2 <10-3 <10-3 <10-2 <10-3 <10-3 <10-2 <10-3 <10-3 <10-2 <10-3 <10-3
最大烘烤温度 °C 350 350 350 350 350 350 350 350 350 350 350 350
重量 Kg 19 43 69 120
半导体行业认证 + – – –

Miniature Pump 离子泵

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Vaclon Plus离子泵

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4UHV控制器

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